装置气密性检查的几种方法

主要有三种装置气密性检查方法：空气压力法、静电容量法和超声波法。

空气压力法就是采用空气压力差的方法检测装置腔室的气密性，可以用一个气压表指示气压，如果没有漏气，气压表就会显示出连续的精确数值；静电容量法是利用相同物体的静电容量，然后再加上由探头发射的静电容量，如果没有漏气，就会形成一个介电负荷；超声波法则是利用超声波衰减的原理检测气密性，只要装置腔室有漏气就会衰减指标。

装置气密性检查是指检测装置腔室的气密性，以确保装置正常运行。

主要有三种装置气密性检查方法：空气压力法、静电容量法和超声波法。

空气压力法就是采用空气压力差的方法检测装置腔室的气密性，可以用一个气压表指示气压，如果没有漏气，气压表就会显示出连续的精确数值。

静电容量法是利用相同物体的静电容量，然后再加上由探头发射的静电容量，如果没有漏气，就会形成一个介电负荷；超声波法则是利用超声波衰减的原理检测气密性，只要装置腔室有漏气就会衰减指标。