检查装置气密性的步骤为

主要步骤包括：1. 检查设备的排气和补充气体的连接是否安全和紧密；2. 检测设备的密封性；3. 检查设备的内部压力是否符合标准，如果不符合，可能要求重新进行气密性检测。

4. 如果检测后发现突出或漏气，可能需要进行维修润滑。5. 需要检查设备的润滑系统。6. 需要检查油加注系统。7. 需要检查各种连接件是否处于正常温度。

8. 当要检查气密性时，要检查吸尘器的颗粒物清理是否达到精密状态。

检查装置气密性的第一步是检查设备的排气和补充气体的连接是否安全和紧密。

检查装置的密封性可以确保设备内外的气体状态是密封的，以保证设备工作正常。

如果检测发现突出或漏气，可能需要进行维修润滑，使其重新达到气密性要求。

检查设备的润滑系统可以确保润滑探针的正常运行，以及确保正确的润滑能够穿过机器的旋转部件，以防止摩擦造成的紧密性降低。

检查油加注系统可以确保设备内润滑油的正确供给，以防止摩擦造成的紧密性降低。

当要检查气密性时，需要检查吸尘器的颗粒物清理是否达到精密状态。